1、  概述

BJ4822智能大功率图示仪可以在高压模式下或大电流模式下测量连续功率15W以上的VMOS、IGBT以及双极型三极管等大功率半导体分立器件；并利用计算机将被测器件的特性曲线进行图示，提供点标测试。尤其是在电力电子测试领域，可对一些脉冲功率达到几千瓦的器件进行测试。在测试、取数方面发挥计算机优势，体现出智能化程度。

2、  本机特点

a、 BJ4822智能大功率图示仪打破传统图示仪由示波管显示曲线；而采用计算机控制来执行测量任务，通过计算机显示来显示曲线图像。

b、BJ4822智能大功率图示仪提供高压源（达到3KV）和大电流源（达到400A）。其性能指标与Tek371相同。

c、 采用开尔文接法在大电流测量方式下感测测量方式。采用开尔文接法的目的是：将感测连接线与功率连接线分开，这样可以提高测量精度，因为它消除了由于接触电阻引起的电压衰落。

d、在大电流测试时提供扫描方式；方便用户观察大功率器件的特性曲线。

e、 利用计算机控制显示曲线；增加了人机界面，交互对话，软件面板，多窗显示，图像存储，利用计算机打印曲线图像，以及数据库修订等功能。

f、  提供点标测试；精确读出测量数值；降低人眼目测引起的误差值。

g、 BJ4822智能大功率图示仪在半导体测试领域有很大的应用范围。例如：半导体分析测试，半导体失效分析，半导体进厂检验，比较半导体器件特性；半导体出厂测试。

3、  系统构成框图

图1  BJ4822智能大功率图示仪构成

计算机上安装有PCI接口板和BJ4822操作软件；计算机通过PCI总线控制BJ4822测试主机；同时读取BJ4822测试主机的采集存储器中的数据；通过BJ4822操作软件显示半导体器件的特性曲线。提供点标测试。测试器件可以通过测试适配器与测试盒连接，也可以通过测试连接线直接与测试盒连接；各组源都连接到测试盒面板上；用户根据需要选择不同的源注入到测试器件的各个管脚上。

4、主要技术指标

（1）    集电极脉冲源（大电流源）：

短路电流：3kW—最大短路电流400A；

300W—最大短路电流40A；

开路电压：30V（+10%，-5%）

可调范围：从0%到100%连续可调，分辨力0.5%

脉冲宽度：300μs±10%

重复频率：3kW—1/4电源频率；300W—1/2电源频率

（2）    集电极扫描源（高压源）：

短路电流：30W—40mA；

3W—4mA；

开路电压：3kV（+10%，-0%）

可调范围：从0%到100%连续可调，分辨力0.1%

（3）    阶梯电压源：

阶梯幅度范围：200mV/阶—5V/阶（以1-2-5为序）；共5档；各档误差≤±3%

阶梯数：0—5阶连续可变

（4）    阶梯电流脉冲源：

阶梯范围：1mA/阶—2A/阶（以1-2-5为序）；共11档；各档误差≤±3%

脉冲宽度：550μs±10%

阶梯数：0—5阶连续可变

（5）    阶梯电流源：

阶梯范围：1μA/阶—2mA/阶（以1-2-5为序）；共11档；各档误差≤±3%

阶梯数：0—5阶连续可变

（6）    水平电压测量：

（a）         Vce电压源设置（以1-2-5为序）：

3kW、300W：100mV/格—5V/格（以1-2-5为序）；共5档；各档误差≤±3%

30W、3W：50V/格—500V/格（以1-2-5为序）；共4档；各档误差≤±5%

（b）        Vbe电压源

100mV/格—5V/格（以1-2-5为序）；共5档；各档误差≤±3%

（7）    集电极电流测量：

垂直量程（以1-2-5为序）：

3kW：1A/格—50A/格；各档误差≤±3%

300W：500mA/格—5A/格；各档误差≤±3%

30W：100μA/格—5mA/格；各档误差≤±3%

3W：10μA/格—500μA/格；各档误差≤±3%

北京无线电仪器厂

赵经理